タングステン（W）
フィラメント、カソード部品など、真空・高温環境で使用される部品に対応します。用途・仕様に応じて、タングステン合金を含めた材料選定をご提案します。
高融点金属・高精密金属部品
タングステン、モリブデン、タンタル、チタン、ニオブなどの高融点金属および難加工材の精密部品。半導体製造装置ではイオン注入装置のアークチャンバー、スパッタリングターゲットなどの用途があります。図面・仕様書、または現物サンプルからご相談ください。
装置に合わせて、部品を起こし直します
イオン注入装置のアークチャンバー部品、スパッタリングターゲット、フィラメントやカソードといった高融点金属部品は、装置メーカーの純正品が生産終了や長納期になることが少なくありません。SAINOは、お客様の現行品を起点に材質・寸法・表面状態を整理し、同じ装置で使える部品として調達し直します。材料の指定変更や、タングステンからモリブデン合金への置き換えといったご相談にも対応します。
イオン注入装置向け タングステン・モリブデン材料と部品
タングステンとモリブデンは高温下でも化学的に安定で、熱変形が小さく、長寿命であることから、イオン注入装置のイオン源部品や消耗品の多くはタングステン・モリブデン製です。電子を放出するカソード、シールドチューブ、アークチャンバープレートなどがその例です。高純度化・合金化、焼結による緻密化、結晶粒の微細化と二次微細化（制御圧延／スウェージング）といった工程の最適化により、従来のタングステン・モリブデン材の寿命・耐熱性・耐クリープ性を高めることができます。
- 高純度化・合金化
- 焼結・緻密化
- 結晶粒微細化・二次微細化
材料仕様
| 形状・寸法（mm） | 純度 | 密度（g/cm³） |
|---|---|---|
| W / Mo 丸棒Φ1 – Φ35 | 99.95% – 99.999%（W） 99.95%（Mo） |
≥ 19.1（W） ≥ 10.1（Mo） |
| W / Mo 板材寸法はご指定に応じて | 99.95% – 99.999%（W） 99.95%（Mo） |
≥ 19.1（W） ≥ 10.1（Mo） |
丸棒・板材とも、図面に応じて完成部品まで加工した状態で納めることができます。
※表示の値は実測値であり、保証値ではありません。採用前に実機での評価をお願いいたします。
対応品目
下記の部品は、図面・現物・現行品の型番からご相談いただけます。
- フィラメント
- カソード
- シールドチューブ
- アークチャンバープレート
- サプレッサー電極
- 図面によるカスタム加工部品
取扱材料
用途・仕様に応じた材料選定と部品調達を支援します。
モリブデン（Mo）
モリブデンおよびTZM合金について、耐熱性や寸法安定性が求められる部品の材料供給・加工対応をご支援します。
タンタル（Ta）
耐食性が求められる装置部品やスパッタリングターゲットなど、用途に応じたタンタル材の選定と部品調達に対応します。
ニオブ（Nb）
高温・真空環境向けの部品や合金材料として、用途・仕様に応じたニオブ材の調達をご支援します。
チタン（Ti）
軽量で耐食性に優れるチタンおよびチタン合金について、真空装置部品などへの材料供給・加工対応をご支援します。
上記以外の高融点金属・難加工材についてもご相談ください。材料や加工可否を確認のうえ、最適な調達方法をご提案します。
代表的な加工部品
タングステン・モリブデンで製作した部品の例です。材質・寸法・表面状態は、図面・現物・型番をもとに個別に確認します。
-
スリット付シールドプレート 材質 W -
V溝ホルダープレート 材質 W -
ザグリ穴付クランプブロック 材質 W -
タップ穴付スペーサーブロック 材質 W -
六角穴付ボルト 材質 W / Mo -
筒状部品 材質 W -
軸・ピン部品 材質 W -
線材・フィラメント 材質 W
ご用意いただくもの
図面、現物サンプル、現行品の型番のいずれか一つで対応を開始できます。図面がない場合も、現物や型番から仕様を整理し、装置に適合する部品・消耗品をご提案します。
図面・仕様書
PDF、DWG、DXF、STEP などをそのまま添付してください。
現物サンプル
使用済み品でも構いません。採寸・材質確認のうえ仕様を起こします。
現行品の型番
装置メーカー、機種、部品番号が分かれば、そこから調達ルートを検討します。
お取引の流れ
- 1
お問い合わせ
図面・現物・品番情報からご相談ください。
- 2
ヒアリング
用途、使用環境、数量、納期を確認します。
- 3
仕様確認・調達先選定
材料・加工方法を整理し、国内外の加工先を選定します。
- 4
お見積り・試作
仕様に合わせてお見積り、必要に応じて試作します。
- 5
納品・継続供給
品質・納期を管理し、継続的な供給にも対応します。
高融点金属部品の図面・現物・型番から、お気軽にご相談ください。
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