高熔點金屬與高精密金屬件

鎢、鉬、鉭、鈦、鈮等高熔點金屬與難加工材的精密零件。在半導體製造設備上,有離子植入機弧室、濺鍍靶材等用途。請以圖面、規格書或現物樣品與我們洽詢。

依設備重新起出零件

離子植入機弧室零件、濺鍍靶材、燈絲與陰極等高熔點金屬零件,設備原廠的純正品經常面臨停產或交期拉長。SAINO 以您的現行品為起點,整理材質、尺寸與表面狀態,重新採購成能用在同一台設備上的零件。材料指定的變更,或從鎢改為鉬合金之類的替換,也都可以洽詢。

離子佈植用 鎢・鉬材料與零件

鎢與鉬在高溫下化學性質穩定、熱變形小、使用壽命長,因此離子佈植機的離子源部件與耗材多以鎢、鉬製造,包含發射電子的陰極、屏蔽筒與弧室面板等。透過高純化、合金化、燒結緻密化、細晶化與二次晶粒細化(控軋/旋鍛)等製程優化,可提升傳統鎢鉬材料的壽命、耐高溫與抗蠕變性能。

  • 高純化・合金化
  • 燒結緻密化
  • 細晶化・二次晶粒細化

材料規格

形狀・尺寸(mm) 純度 密度(g/cm³)
W / Mo 圓棒Φ1 – Φ35 99.95% – 99.999%(W)
99.95%(Mo)
≥ 19.1(W)
≥ 10.1(Mo)
W / Mo 板材尺寸依指定 99.95% – 99.999%(W)
99.95%(Mo)
≥ 19.1(W)
≥ 10.1(Mo)

圓棒與板材皆可依客戶圖面加工為成品後交貨。

※表列數值為實測值,非保證值。採用前請以實機進行評估。

可對應品項

以下零件皆可依圖面、現物或現行品型號洽詢。

  • 燈絲
  • 陰極
  • 屏蔽筒
  • 弧室面板
  • 抑制電極
  • 依圖面的客製加工件

材料

依用途與規格,支援材料選定與零件採購。

鎢(W)

對應燈絲、陰極零件等在真空、高溫環境下使用的零件。依用途與規格,提案包含鎢合金在內的材料選定。

鉬(Mo)

鉬與 TZM 合金,支援需要耐熱性與尺寸穩定性的零件的材料供應與加工對應。

鉭(Ta)

對應要求耐蝕性的設備零件、濺鍍靶材等,依用途選定鉭材並採購零件。

鈮(Nb)

作為高溫・真空環境用零件與合金材料,依用途與規格支援鈮材採購。

鈦(Ti)

輕量且耐蝕性優異的鈦與鈦合金,支援真空設備零件等的材料供應與加工對應。

上述以外的高熔點金屬與難加工材也歡迎洽詢。確認材料與加工可行性後,提案最合適的採購方式。

代表加工品項

以鎢、鉬製作的零件範例。材質、尺寸與表面狀態,依圖面、現物或型號逐案確認。

需要您提供的資料

圖面、現物樣品或現行品型號,三者任一即可開始對應。沒有圖面也沒關係,我們會從現物或型號整理出規格,提案能與設備相容的零件與耗材。

圖面・規格書

PDF、DWG、DXF、STEP 等格式直接附上即可。

現物樣品

用過的舊品也可以。量測、確認材質後整理出規格。

現行品型號

知道設備廠牌、機型與零件編號,就能從那裡開始評估採購路徑。

交易流程

  1. 1

    諮詢

    請以圖面、現物或品番資訊與我們聯繫。

  2. 2

    訪談

    確認用途、使用環境、數量與交期。

  3. 3

    規格確認・採購來源選定

    整理材料與加工方法,選定國內外的加工廠。

  4. 4

    報價・試作

    依規格報價,必要時進行試作。

  5. 5

    交貨・持續供應

    管理品質與交期,也對應持續供應。

高熔點金屬零件的圖面、現物或型號,請直接與我們聯繫。

諮詢・報價申請