耐化學藥品O型環・密封材

依設備部位，重新選擇材質。

半導體製造設備的密封部位，即使在同一台設備裡，不同部位的環境也完全不同。SAINO 依使用環境與更換紀錄，逐部位選定材質與形狀，並配合 PM 週期供應。以 FKM・FFKM 為主，從圖面、現物或型號任一種資料都可以開始洽詢。

為什麼要逐部位重新選擇

一台設備的密封部位，有直接暴露在電漿下的位置，也有只通過冷卻水或空氣的位置。環境不同，需要的材質與合理的更換週期就不同。

但實際的零件表上，經常是不分部位一律採用同一種高等級材料。這並非不合理的判斷。要更動一度確定的規格，需要評估的工夫，萬一出問題又直接影響良率。提案變更的一方所承擔的風險，與變更所能帶來的利益，通常並不對等。

結果就是，重新檢視的空間一直留在那裡。SAINO 提案的不是換成便宜的材料，而是為每個部位選出合適的材質，並附上依據。從環境溫和的非製程部位開始；製程部位則先了解現行的更換週期與不良狀況，再從「是否該變更」本身一起評估。

各部位的考量方式

整理了代表性的密封部位，以及決定材質與形狀時優先看什麼。條件會隨設備種類與製程而異，實際選定會在了解使用環境後進行。

腔體上蓋・門封 Chamber Lid / Door

維持真空／製程氣體間接暴露／開關造成的反覆壓縮

這是以維持密封性為最優先的部位。每次開關都反覆壓縮與回復，壓縮永久變形量的大小，以及斷面形狀與線徑的選擇，左右了壽命。大直徑品請連同避免運輸與安裝時變形的包裝方式一起洽詢。

狹縫閥・閘閥 Slit Valve / Gate Valve

高頻率開關／滑動／製程氣氛

開關次數多，壓縮永久變形與磨耗決定壽命。由於靠近晶圓的搬運路徑，劣化表面釋出的顆粒也可能直接造成影響。會同時從耐久性與低發塵兩方面評估材質。

噴淋頭・氣體導入部 Showerhead / Gas Inlet

製程氣體／高溫／電漿暴露

條件最嚴苛的部位之一，優先考量耐電漿性與高溫下的穩定性。這裡與其提高材質等級，不如依實際狀況重新檢視更換週期，結果往往更安全，總成本也可能更低。請告訴我們目前的更換週期，以及更換時零件是什麼狀態。

觀察窗 Viewport

電漿輻射／沉積物／溫差

表面劣化會同時反映在能見度與發塵上。也需要留意與窗材接觸面的黏著，以及拆卸時的破損。確認使用溫度範圍與觀察頻率後，選定材質與硬度。

排氣管路・泵浦周邊 Exhaust Line / Pump

反應副產物／腐蝕性氣體／沉積

腐蝕與膨潤是主要的劣化原因。這裡多半不像製程部位要求那麼高的潔淨度，實際上是最容易留有檢視空間的位置。會依通過的氣體種類與沉積物性質來選定。

公用配管 Cooling Water / Air / DIW

不接觸製程氣體／常溫至中溫

這是最容易規格過剩的代表性部位。因為不直接接觸製程，評估負擔相對較輕，也是最容易確認檢視成效的位置。要開始逐部位選定時，我們建議先從這裡著手。

選定時看的指標

耐化學藥品性是密封材的前提條件，不是區分各部位選定的指標。真正決定更換週期與設備穩定性的，是下列項目。洽詢時，我們會針對這些項目了解現況。

發塵・顆粒

劣化表面釋出的顆粒，會以晶圓缺陷的形式出現。尤其在靠近搬運路徑的部位，比起耐久性本身，更優先考量不易產生顆粒。

想確認的事：更換時的表面狀態、有無粉狀附著物、因顆粒引起的不良紀錄。

壓縮永久變形

在反覆開關或拆裝的部位，一旦無法回復，密封性就會喪失。不只材質，壓縮量與斷面形狀的設計也影響壽命。

想確認的事：開關頻率、溝槽尺寸、拆下的 O 型環斷面壓扁的情形。

耐電漿性

直接暴露於電漿的部位，表面會變粗糙、重量減少，最終成為顆粒來源。合適的材質會隨氣體種類與電漿條件而不同。

想確認的事：是否直接暴露於電漿、氣體種類、清潔條件。

更換週期與壽命

需要比較的不是單價，而是包含更換週期與停機時間在內的成本。既有週期過短的部位，也有週期過長而成為不良原因的部位。

想確認的事：目前的更換週期、判定更換的基準、PM 的間隔。

溶出物・雜質

在接觸藥液或高純度環境的部位，材料溶出的成分會成為問題。各部位要求的水準差異很大。

想確認的事：接觸的藥液種類、潔淨度要求、清洗與包裝的指定。

溫度範圍與真空

不只常用溫度，包含清潔與待機時的最高與最低溫度，決定了材質的選項。真空側則可能出現低溫下追隨性的問題。

想確認的事：常用・最高・最低溫度、真空度、升降溫的頻率。

對應材質

FKM（氟橡膠）

耐化學藥品性與耐熱性均衡，是設備密封部位使用最廣的材料。在公用配管、排氣管路周邊等不直接暴露於電漿的部位，是第一個考慮的選項。不同等級的耐化學藥品性與低溫特性傾向不同，會在確認流體與氣體種類後選定。

FFKM（全氟橡膠）

對應高溫、強酸、電漿環境的材料，用於腔體內、氣體導入部等條件嚴苛的部位。各用途要求的特性差異很大，會在了解使用環境後逐案選定材質並供應。SAINO 自有系列規劃中。

其他彈性體

依使用環境，也有 FKM・FFKM 以外的材料更合適的情況。了解條件後，從材質選項本身開始提案。不必拘泥於目前使用的材質，請從部位的環境開始洽詢。

關於材質的切換

變更材質時，我們會提案能夠成立比較的做法：從更換週期短的部位或非製程部位開始，一次只改一項，讓兩者能在相同條件下比較。評估所需的紀錄方式，也可以一併洽詢。

對應形狀

O 型環

對應 JIS B2401、AS568 等規格尺寸。知道型號的話，光憑該資訊即可進入安排。

墊片・密封件

平面密封、方形環、X 型環等。含斷面形狀的選擇，歡迎洽詢。

圖面品・客製形狀

也對應規格外的尺寸與異形品。沒有圖面時，從現物量出尺寸。

表面處理・清洗・包裝

也對應以帶入無塵室為前提的清洗與包裝規格。若設備端有驗收基準，請一併告知。

對應以 PM 為單位的供應

O 型環不是一個一個換，而是以定期保養為單位整批更換。SAINO 對應以腔體、以 PM 為單位的一次性安排。維持各部位不同材質的配置，整套交付。

告知 PM 的預定日，我們就從那天回推來調整交期。若定期更換的週期已經確定，也對應配合週期的定期出貨。

一度確定的規格，會連同型號、圖面與材質一起保存。下次起只要指示「與上次相同」即可重新安排。規格若有變更，我們會事先主動聯繫。

洽詢時會確認的項目

設備與部位: 設備的種類，以及密封件所在的位置。
流體・氣體種類: 製程氣體、藥液、清洗液的種類。是否直接暴露於電漿。
溫度・壓力: 常用・最高・最低溫度，真空或加壓。
尺寸・規格: 型號（JIS B2401、AS568 等）、圖面，或現物。
現行更換週期與不良狀況: 目前多久更換一次，以及在什麼狀態下更換。
數量與頻率: 每次的數量，以及一年大約的次數。

需要您提供的資料

圖面、現物樣品或現行品型號，三者任一即可開始對應。沒有圖面也沒關係，我們會從現物或型號整理出規格，提案能與設備相容的零件與耗材。

圖面・規格書

PDF、DWG、DXF、STEP 等格式直接附上即可。

現物樣品

用過的舊品也可以。量測、確認材質後整理出規格。

現行品型號

知道設備廠牌、機型與零件編號，就能從那裡開始評估採購路徑。

三者任一即可著手，不需要全部備齊。沒有型號也沒有圖面、手邊只有用過的現物，這是最常見的洽詢狀態。

交易流程

1
諮詢
請告知設備、部位，以及目前遇到的困擾。
2
確認使用環境
了解流體、溫度、更換週期等。必要時看一下現物。
3
提案・報價
提案材質與形狀，並附上選定的理由。
4
首次交貨・試用
建議先從一個部位、一台設備開始試用。
5
評估與規格確定
確認更換時的狀態，必要時調整材質與形狀，固定規格。
6
重新安排・定期供應
保存確定的規格，下次起以相同規格安排。也對應配合 PM 週期的定期出貨。

常見問題

型號和圖面都不清楚，能對應嗎？

可以。寄來用過的現物，我們量出尺寸，並配合使用環境選定材質。劣化的狀態本身就是選定的線索，請不要清洗，直接寄來。

可以用和現在相同的材質製作嗎？

以相同規格供應為原則。在此之上，了解部位環境與更換週期後，若判斷重新檢視材質有效，會連同依據一起提案。決定權在您。

要變更材質的話，該怎麼評估？

我們會提案能夠成立比較的做法：從更換週期短的部位或非製程部位開始，一次只改一項，在相同條件下比較。評估所需的紀錄方式也可以一併洽詢。

少量也能對應嗎？

可以。建議先從一個部位、一台設備開始試用，不需要一開始就全數切換。

有庫存嗎？交期大約多久？

合適的材質依使用環境而異，因此以接單生產為原則。我們會從 PM 預定日回推安排，日程確定後請儘早告知。若是規格尺寸且型號已確定，有時能以較短的交期對應。

發生不良時怎麼處理？

回收現物，從劣化狀態確認原因並回報。整理出是材質、形狀還是使用條件所致，反映到下次的規格。變更點一定明示。

請告訴我們部位，以及目前的困擾

從「這個部位換得太快」「不知道型號」這樣的狀態開始就可以。了解使用環境後，我們提案材質與形狀。

諮詢・報價申請

設備種類・部位
型號、圖面或現物
流體・氣體種類、溫度
目前的更換週期
數量與 PM 預定